Luvata製スパッタリングターゲット_1456x867

超高純度銅製品

高純度銅が要求される最も厳しい用途に対応

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すべては高純度銅から始まります。

不純物濃度が低くても目的の結果にかなりの悪影響を及ぼす可能性があるため、当社は原料の純度に妥協することはありません。当社のすべての完成品や半製品は最高純度の銅で製造されています。

当社は、最高品質のカソードから当社独自の無酸素銅を製造しています。この垂直的統合によって、原料や製品の品質および供給を完全に管理することができます。

使用されている無酸素銅と銅合金を以下に示します。

  • 99.9995% (5N5)
  • OFE-OK® (4N5) 99.995% (5N)
  • 99.995% (4N5)
  • 上記以外の無酸素銅と銅合金(CuPなど)
スパッタリングターゲット expander header icon

Luvataは長年にわたりお客様と共に困難なスパッタリングターゲットおよびブランクを開発してきました。製品は優れた均質構造の高品質銅をベースとしています。   

 

Unfinished and finished copper sputterin targets cans 

アノード expander header icon

Luvataは、最新の電気化学堆積(ECD)半導体システム向けに最高品質の銅アノードをハイエンド企業とともに数十年以上開発し、提供しています。

製品は、精密加工製品として直接クリーンルームに提供したり、お客様の工場で製造できるように半仕上げ部品として提供することができます。

 

Different ultra pure anode shapes after machining 

ペレット expander header icon

Luvataは、物理的気相成長法(PVD)や電気化学析出(ECD)用の高純度銅ペレットの精錬および製造を専門としています。

お客様の要望に応じて、非常に小型のペットから大型のボールやスラグまで提供できます。純度の範囲は4N5~6N(99.995%~99.9999%)になります。また、CuPやCuInなどの特殊合金もご利用いただだけます。

 

Copper pellets made from ultra pure copper, packed in 10kg plastic bags 

部品 expander header icon

Luvataは、高品質銅が不可欠なあらゆる用途向けの半仕上げ部品の主要メーカーです。銅棒、銅板、銅管、機械加工部品を含むあらゆる形状と寸法のお客様固有の半仕上げ部品を製造することができます。また、あらゆる高純度銅等級のインゴットも供給できます。 

Luvataは、極低温用途向けの銅等級を開発しています。最も使用されている合金はRRR(残留抵抗比)250~450のOFE-Cryogenicです。超高純度銅(Cu 99.999~99.9999%)を使用すれば、さらに高いRRR値(800~2000)も可能です。

 

  Copper rods and bars

  • 小型ディスプレイ

    ご存知ですか?ぞんじ

    .01

    液晶ディスプレイ
    スパッタリングターゲットやペレットはタッチスクリーンTV、コンピューターのモニター、大型液晶ディスプレイの製造で一般的に使用されています。これらの高伝導率の銅部品は、小型ディスプレイで使用されている伝導率の低いアルミニウム製部品の代替として使用されています。

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